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激光干涉仪光学元件的影响

1.影响因素

　　光学器件表面不干净会导致信号强度减弱，激光干涉仪什么品牌好，使精密测量变得困难，滁州激光干涉仪，尤其是在测量较长距离的场合。

2.减少及消除方法

　　应加强对干涉镜和反射镜等光学元件的正确保管及使用，不能弄脏；若偶尔弄脏光学元件，可使用高质量的透镜拭纸和专卖店供应的无痕迹玻璃清洁液，按使用说明清洁灰尘、手印等。

激光干涉仪的开发，给机床工业提供了高精度的标准，适用于各种型号和规格的机床。

使用激光干涉仪测量，必须要考虑到的误差源：

一、  环境误差。激光干涉仪的绝1对精度取决于周围条件的精1确程度（或者说环境的稳定程度）。环境温度每产生1℃的变化，绝1对压力每产生2.5mmHg或相对湿度每产生30%的误差时，都将会导致约1PPM（百万分子一）的测量误差。这些误差利用人工补偿或激光干涉仪所配的自动补偿装置可部分克服。因此检测期间保持这些条件的稳定非常重要。

二、  机床表面温度。即机床本身温度变化的影响。对于用钢制丝杠定位滑鞍的机床，丝杠理论热膨胀系数为10.8PPM/℃，即温度每升高1℃，他将膨胀近10.8微米/米。