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激光干涉仪阿贝偏置误差的影响

1.影响因素

　　若激光光束调整得与指1定的坐标轴为平行偏置时，在这种情况下进行测量，光学元件偏置安装引起的角度运动会导致阿贝偏置测量误差。该误差与LΦ成正比，激光干涉仪的价格，其中，L为偏置距离，双频激光干涉仪厂家，Φ为偏置角度。如Φ为0.0028°、L为100mm，所引起的阿贝偏置误差为5μm。

2.减少及消除的方法

　　由于恒定角度不会导致阿贝误差，所以，在测量时应固紧好移动光学镜以减少偏置角度的变化；尽量使测量轴线靠近机器光栅尺轴线以减少偏置位置距离。

双频激光干涉仪在形位误差测量上的应用

（1）双频激光干涉测角

双频激光干涉仪光路系统中的偏振分光镜、参考镜和测量镜，分别换成双膜块组合角锥反射棱镜和角锥反射棱镜，就可以构成双频激光干涉测角仪。其测量原理为：当具有偏振方向垂直，双频激光干涉仪哪家好，且频率分别为f1和f2的偏振光入射到偏振分光镜后，其中垂直偏振光f2被反射，经棱镜再反射到达角锥反射棱镜，由角锥反射棱镜反射后回到偏振分光棱镜，而水平偏振光f1透过偏振分光镜后到达角锥反射棱镜，由角锥反射棱镜反射后回到分光镜，两光束在偏振分光棱镜重新会合形成拍频，经检偏器后由光电接1收器接收。当双角锥棱镜组在移动过程中没有发生摆动时，两束光的多普勒频差不变，拍频不变。如果，移动过程中双角锥棱镜组发生摆动，则相当于两个角锥棱镜的移动不一致，出现距离差。根据线度角度的几何关系，可以测出摆角的大小。由上述原理构成的SJD型双频激光干涉仪用于测量角度时，其分度值为0.1″，当测量范围为±100″时，激光干涉仪，测量精度为0.5″

(2) 双频激光干涉仪测直线度误差

双频激光干涉仪与光学附件双面反射镜、沃拉斯顿棱镜等配合，可以构成直线度测量系统，由于此法已经在工程测量中广泛应用，且原理与测角系统基本类似。