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双频激光干涉仪发展

双频激光干涉仪已成为精密测量中广泛应用的仪器。国内外许多公司都有商品化仪器出售，但这也往往使人们产生了错觉，以为激光干涉仪已经完全满足制造业的需求不必再研究了。其实近年来随着科学技术的发展人们对测量工具也提出了更高的要求。为迎合新的测量要求，双频激光干涉仪也相应向高分辨率、高精度、高测速等几个方向发展。

具体发展方向可分为五种：高分辨率、高精度与纳微米精密测量溯源、高测速、光源多通道复用、空气折射率补偿。

如何正确运用激光干涉仪

1、负坡度

　　负坡度曲线向外运行和向内运行两个测试均出现向下的坡度。在整个轴线长度上，激光干涉仪多少，误差呈线性负增加，这表示激光系统测量的距离短于机床位置反馈系统指示的距离。出现负坡度的可能原因有以下两种：(1)光束准直调整不正确。如果轴线短于1m则可能是材料热膨胀补偿系数不正确、材料温度测量不正确或者波长补偿不正确。(2)俯仰和扭摆造成阿贝偏置误差、机床线性误差。

2、正坡度

　　正坡度曲线是指在整个轴线长度上，误差呈线性正递增。这种现象的产生有以下可能：(1)材料热膨胀补偿系数不正确、材料温度测量不正确或者波长补偿不正确。(2)俯仰和扭摆造成阿贝偏置误差、机床的线性误差。

3、周期性曲线

　　周期性曲线是整个轴线长度上的重复周期误差。沿轴的俯仰保持不变，激光干涉仪品牌，但幅度可能变化。导致周期性曲线的可能原因主要是机床方面的问题，滁州激光干涉仪，如丝杠或传动系统故障、编码器问题或故障、长型门式机床轨道的轴线直线度。

4、偏移

　　偏移是指去程和回程两次测试之间具有不变的垂直偏移。产生偏移曲线的可能原因主要是机床方面的问题，如反向间隙未补偿或不当补偿、车架与导轨之间存在间隙(松动)等。

5、燕尾状

　　在去程测试中出现向下的坡度的情况，回程测试为去程测试的镜像，激光干涉仪多少钱一台，去程和回程测试之间的偏差(或滞后或反向间隙)随轴线离开受驱动端而逐渐提高。产生燕尾状的可能原因主要是机床方面的问题，如滚珠丝杠扭转、导轨太紧、使用的误差补偿值不正确等。

6、正反向交叉线

　　正反向交叉线是指正向(向外)运行产生负坡度，而反向(向内)运行则产生正坡度。这是丝杠扭转的一个特殊例子，其中，单向线性误差补偿和单反向值已在控制器中设置。