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激光干涉仪调光步骤及技巧

直线度测量

光学组件：直线度干涉镜一只、直线度反射镜一只。

测量原理：激光头的输出光束穿过直线度干涉镜后，被分裂成两束夹角较小的光束，滁州激光干涉仪，这两束光成一个微小的角度。然后，经直线度反射镜反射后沿一条新的光路返回到直线度干涉镜，激光干涉仪价格，该两束光束在直线度干涉镜处汇合成一束光束，并返回激光头的回光孔。直线度测量是通过检查干涉镜和反射镜的相对横向位移引起的光程差来实现的，直线度测量可以在水平面或垂直面内进行，它取决于直线度干涉镜和直线度反射镜的定位方向。

光学器件安装：

短距离直线度测量，行程近端时固定光学元件与移动光学元件之间的距离至少为0.1m，而长距离直线度测量时该距离较少为1m。

垂直直线度偏差测量光路校准步骤：

   1、放置好激光头，安装好直线度光闸。

   2、将干涉镜表面旋转90度（小孔在右边），双频激光干涉仪，借助直线度干涉镜上的小光孔将激光近、远两端拉直。

   3、放置直线度反射镜，检测其**面是否水平。在直线度反射镜中间刻度线处安装一光靶，光靶小光孔与干涉镜小光孔同侧，只调节直线度反射镜，使激光正对光靶小光孔。

   4、将干涉镜旋转90度，去除光靶。细微旋转干涉镜表面使反射回光闸的两束光线聚焦，调节直线度反射镜上旋钮将汇合后的光束对准直线度光闸的回光孔。

   5、检查激光头，近、远两端光强是否一致。（可微调俯仰、扭摆、左右，寻找返回光束光强较1大位置。）

   6、人工去除斜率误差。

激光干涉仪的校准与精度验证?

激光干涉仪在购置投入使用前应进行关键性能的验证。且随着使用年限的增加，激光干涉仪（包括环境补偿系统）的性能可能会因老化或使用不当出现衰退，对测量精度造成影响。因此需要定期对激光干涉仪测量系统的关键性能参数进行校准，以确保在精密测量应用中获得准确的数据结果。根据国家计量检定规程的要求，需要对激光干涉仪激光频率、测距误差、测角误差、环境补偿传感器进行定期校准。