双频激光干涉仪价格|激光干涉仪|合肥迈思瑞仪表公司

激光干涉仪机器表面温度的影响之减少及消除的方法

在定“零点”时，若固定光学镜和移动光学镜是并排放置的，激光干涉仪报价，则死程误差可以忽略不计。

在移动光学镜位于坐标轴零点位置时，激光干涉仪品牌，两个光学元件彼此间距离为较1大的这种机器上，可按下述方法进行预置，以避免激光干涉仪以该点定零点时引起的潜在的死程误差:

①把移动光学镜放在坐标轴零点位置上；

②激光干涉仪定零点；

③把移动光学镜运动到坐标轴另一端(使两个光学镜尽量接近)，注意要保持读数的符号与光栅尺的符号一致；

④当两个光学元件放在较接近的位置时，设置一个与激光干涉仪读数相等的预选值；

⑤在这个相同位置上重新设置零点，其值为预选值。

双频激光干涉仪在形位误差测量上的应用

（1）双频激光干涉测角

双频激光干涉仪光路系统中的偏振分光镜、参考镜和测量镜，分别换成双膜块组合角锥反射棱镜和角锥反射棱镜，双频激光干涉仪哪家好，就可以构成双频激光干涉测角仪。其测量原理为：当具有偏振方向垂直，且频率分别为f1和f2的偏振光入射到偏振分光镜后，其中垂直偏振光f2被反射，经棱镜再反射到达角锥反射棱镜，由角锥反射棱镜反射后回到偏振分光棱镜，而水平偏振光f1透过偏振分光镜后到达角锥反射棱镜，由角锥反射棱镜反射后回到分光镜，两光束在偏振分光棱镜重新会合形成拍频，经检偏器后由光电接1收器接收。当双角锥棱镜组在移动过程中没有发生摆动时，两束光的多普勒频差不变，拍频不变。如果，移动过程中双角锥棱镜组发生摆动，激光干涉仪，则相当于两个角锥棱镜的移动不一致，出现距离差。根据线度角度的几何关系，可以测出摆角的大小。由上述原理构成的SJD型双频激光干涉仪用于测量角度时，其分度值为0.1″，当测量范围为±100″时，测量精度为0.5″

(2) 双频激光干涉仪测直线度误差

双频激光干涉仪与光学附件双面反射镜、沃拉斯顿棱镜等配合，可以构成直线度测量系统，由于此法已经在工程测量中广泛应用，且原理与测角系统基本类似。