激光干涉仪的开发,给机床工业提供了高精度的标准,适用于各种型号和规格的机床。
使用激光干涉仪测量,激光干涉仪品牌有哪些,必须要考虑到的误差源:
死径误差(死行程误差)。它是一种在测量期间与环境条件的变化有关系的误差。它是由于当围绕激光束的大气压力发生变化(引起激光波长变化)时以及当固定有激光干涉仪和目标反射镜的材料温度发生变化(引起干涉仪和反射镜之间的距离变化)时,激光束行程长度得不到补偿而造成。
简单的讲,激光测量行程的死行程区是指激光干涉仪与测量复位点(或0点)位置间的距离。激光干涉仪自身的补偿系统仅能补偿测量复位点到测量行程终点的距离,而对于死行程区的距离是不补偿的。
激光干涉仪的工作原理
激光干涉仪发射单一频率光束,激光干涉仪品牌价格,光束射入线性干涉镜后分成两道光束射向反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,最后重新汇聚返回激光干涉仪。若光程差没有变化时,芜湖激光干涉仪,激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两较之间找到稳定的信号。若光程差有变化时,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。
激光干涉仪的校准与精度验证?
激光干涉仪在购置投入使用前应进行关键性能的验证。且随着使用年限的增加,激光干涉仪(包括环境补偿系统)的性能可能会因老化或使用不当出现衰退,对测量精度造成影响。因此需要定期对激光干涉仪测量系统的关键性能参数进行校准,以确保在精密测量应用中获得准确的数据结果。