现代科学技术的许多领域对表面质量提出了更高的要求。一方面,现有的常规检测方法无法满足测量精度的要求,尤其是近年来纳米技术的出现和逐步普及与应用改善了对表面粗糙度的测量要求,并且向更精细和的方向发展了表面粗糙度测量技术。另一方面,复杂的三维形状加工技术的发展也对三维表面粗糙度测量的发展提出了新的要求。
1980年代出现的原子力显微镜(AFM),扫描隧道显微镜(STM),扫描方法光学显微镜(SNOM),光子扫描隧道显微镜(PSTM)等是表面粗糙度测量的一个有希望的方向。另外,在科学研究和生产实践的许多领域中,过去的后处理采样测量不再能满足要求,这需要能够在线测量的新测量方法。**高精度表面的高精度测量,3D表面粗糙度测量和在线实时测量成为未来粗糙度测量的主要方向。
对比法,如果具有万用表、示波器等常用必要设备,并且有两台型号完全相同的仪器仪表,那么就可以进行一些比较检测。比如波形比较、电压比较、电流比较、输出结果比较等等。将正常仪器与被检测仪器在同条件下运行,然后测出这些比较数据,假如某些地方出现不同,很有可能问题就出现在这里。故障流程图法,根据故障流程图来逐一排除缩小故障范围,不需要使用型号相同的仪器来进行同条件检测比较,通过信号对比、部件交换等方法就能检查到故障原因,比对比法更加方便快速。