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激光干涉仪阿贝偏置误差的影响

1.影响因素

　　若激光光束调整得与指1定的坐标轴为平行偏置时，在这种情况下进行测量，光学元件偏置安装引起的角度运动会导致阿贝偏置测量误差。该误差与LΦ成正比，其中，L为偏置距离，激光干涉仪定制电话，Φ为偏置角度。如Φ为0.0028°、L为100mm，所引起的阿贝偏置误差为5μm。

2.减少及消除的方法

　　由于恒定角度不会导致阿贝误差，所以，在测量时应固紧好移动光学镜以减少偏置角度的变化；尽量使测量轴线靠近机器光栅尺轴线以减少偏置位置距离。

激光干涉仪的开发，给机床工业提供了高精度的标准，芜湖激光干涉仪，适用于各种型号和规格的机床。

使用激光干涉仪测量，激光干涉仪品牌价格，必须要考虑到的误差源：

阿贝误差。阿贝误差原理是长度计量和长度计量仪器设计中较经典的测量原理。被测轴线和测量轴线应在同一直线或其延伸线上，如果在一个偏离的被测位移的位置上进行测量时，部件的任何角运动都将产生一个误差。估算角运动产生的误差的一条有益经验是：每角秒的角运动产生约5um/m的偏移。对于阿贝偏移为200mm，2秒的角运动，其测量位移误差为200mm×5um/m/角秒×2角秒=2um。