激光干涉仪测量_合肥迈思瑞公司_合肥激光干涉仪

激光干涉仪常见故障及解决方法

开机无显示：1、是否接上电源打开开关。2、显示器是否切换到BNC模式。

视场不完整：1、标准镜头是否旋到位。2、标准镜头星点是否与寻星窗口中间的黑点重合。

高度调节不明显：检查高度调节旋钮是否锁紧。

干涉条纹暗：调节干涉仪上的亮度调节旋钮。

干涉条纹乱：检查标准镜头与被测透镜表面是否干净。

被测镜片星点像找不到：调整镜片的中心，看镜片是否放置的倾斜。

条纹亮暗闪动：调节标准镜头的圆形图像。

激光干涉仪的原理：

一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，合肥激光干涉仪，形成变化长度测量光束。

从激光头射出的激光光束具有单一频率，标称波长为633nm，激光干涉仪测量，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光——反射光束和透射光束。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。

如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。

如果两光程差发生变化，每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。这些变化（条纹）被数出来，用于计算两光程差的变化。测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。

激光干涉仪产品功能特点

测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨力可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，激光干涉仪测量，解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，激光干涉仪测量，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。

具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并可以校准机床的回转轴。

可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为机床误差修正的提供依据。